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Characteristics of Sputtered AlN Buffer Layer as Function of N2 Partial Pressure on Patterned Sapphire Substrate
Characteristics of Sputtered AlN Buffer Layer as Function of N2 Partial Pressure on Patterned Sapphire Substrate
- 제목
- Characteristics of Sputtered AlN Buffer Layer as Function of N2 Partial Pressure on Patterned Sapphire Substrate
- 제목 (타언어)
- Characteristics of Sputtered AlN Buffer Layer as Function of N2 Partial Pressure on Patterned Sapphire Substrate
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2016-11-17
- 학회명
- 2016년도 한국재료학회 추계학술대회 및 한-일 재료공학 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-11-15 ~ 2016-11-18