상세 보기
Influence of neutral particle beam energy on the structural properties of amorphous carbon films prepared by neutral particle beam assisted suttering
- 제목
- Influence of neutral particle beam energy on the structural properties of amorphous carbon films prepared by neutral particle beam assisted suttering
- 저자
- Hong MunPyo
- 학회명
- 제40회 한국진공학회 동계 정기 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2011-02-09 ~ 2011-02-11