열팽창 방식 Metal/Poly-Silicon 구동기의 최적설계

제목
열팽창 방식 Metal/Poly-Silicon 구동기의 최적설계
저자
KWON, Oh Myoung
학회명
2006년도 제8회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주 (KAL 호텔)
학회 개최일
2006-04-06 ~ 2006-04-08