초크랄스키 실리콘에서 불순물 산소와 탄소의 석출에 관한 속도론적 연구

제목
초크랄스키 실리콘에서 불순물 산소와 탄소의 석출에 관한 속도론적 연구
저자
Huh, Joo Youl
학회명
1997년 대한금속학회 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-04-25 ~ 1997-04-26