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SRAM 소자용 SiO2 박막의 상온 DC 플라즈마 수소화처리에 대한 상자성 공명연구

  • Lee, Cheol Eui
제목
SRAM 소자용 SiO2 박막의 상온 DC 플라즈마 수소화처리에 대한 상자성 공명연구
저자
Lee, Cheol Eui
학회명
한국물리학회

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