SPT-type Plasma 발생장치를 이용한 폴리이미드의 표면개질과 접착력의 관계

제목
SPT-type Plasma 발생장치를 이용한 폴리이미드의 표면개질과 접착력의 관계
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
Proceeding of The 2003 Fall Technical Symposium on Microelectronics and Packaging
개최지
Korea
학회 개최일
2003-11-14 ~ 2003-11-14