폴리이미드 박막 유전체를 이용한 전기습윤 소자의 구동 특성

  • Pak, James Jungho
제목
폴리이미드 박막 유전체를 이용한 전기습윤 소자의 구동 특성
저자
Pak, James Jungho
발행일
2011-04-08
학회명
제 13회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주 KAL 호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-04-07 ~ 2011-04-09