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비전도성 에폭시를 사용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 밀봉 실장 특성

제목
비전도성 에폭시를 사용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 밀봉 실장 특성
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
마이크로 전자 및 패키징학회 추계 기술 심포지움
학회 개최일
2001-11-09 ~ 2001-11-09

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