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Hot embossing 공정을 이용한 100nm급 Hybrid stamp제작

제목
Hot embossing 공정을 이용한 100nm급 Hybrid stamp제작
저자
Lee, Heon
학회명
2005 한국정밀공학회 춘계학술대회
개최지
제주도
학회 개최일
2005-06-23 ~ 2005-06-24

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