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Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
- 제목
- Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
- 제목 (타언어)
- Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2016-05-19
- 학회명
- 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-05-18 ~ 2016-05-20