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CMP공정 변수와 첨가제가 SiO2와 Si3N4막의 연마율에 미치는 영향

  • Lim, Dae-Soon
제목
CMP공정 변수와 첨가제가 SiO2와 Si3N4막의 연마율에 미치는 영향
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
세라믹학회
학회 개최일
2005-04-23 ~ 2005-04-25

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