펄스레이저 증착법에서 기판-플룸 각 변화가 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 영향

  • Lee Sang Ryeol
제목
펄스레이저 증착법에서 기판-플룸 각 변화가 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 영향
저자
Lee Sang Ryeol
발행일
2004-03-01
학회명
한국전기전자재료학회