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플라즈마 화학증착법 제어에 따른 실리콘 나이트라이드의 수소 패시베이션 특성 비교
플라즈마 화학증착법 제어에 따른 실리콘 나이트라이드의 수소 패시베이션 특성 비교
- 제목
- 플라즈마 화학증착법 제어에 따른 실리콘 나이트라이드의 수소 패시베이션 특성 비교
- 제목 (타언어)
- 플라즈마 화학증착법 제어에 따른 실리콘 나이트라이드의 수소 패시베이션 특성 비교
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2016-10-13
- 학회명
- 한국태양광발전학회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-10-13 ~ 2016-10-14