RF-MEMS 소자를 위한 저손실 웨이퍼 레벨 패키징

제목
RF-MEMS 소자를 위한 저손실 웨이퍼 레벨 패키징
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
마이크로 전자 및 패키징학회 추계 기술 심포지움
학회 개최일
2001-11-09 ~ 2001-11-09