Wafer Bonding을 이용한 FLI IGBT 제조 공정에 관한 연구

  • Sung, Man Young
제목
Wafer Bonding을 이용한 FLI IGBT 제조 공정에 관한 연구
저자
Sung, Man Young
발행일
2012-02-16
학회명
제19회한국반도체학술대회
개최지
고려대학교
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-02-15 ~ 2012-02-17