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Atomic Layer Deposition (ALD) for Surface and Interface Engineering
Atomic Layer Deposition (ALD) for Surface and Interface Engineering
- 제목
- Atomic Layer Deposition (ALD) for Surface and Interface Engineering
- 제목 (타언어)
- Atomic Layer Deposition (ALD) for Surface and Interface Engineering
- 저자
- Shim, Joon Hyung
- 발행일
- 2014-04-25
- 학회명
- 2014년도 대한기계학회 열공학부문 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-04-23 ~ 2014-04-25