Analyzing measurement accuracy and causes of error in Vacuum Null Point Scanning Thermal Microscope by increasing the degree vacuum

진공도가 올라감에 따라 진공 평형점 주사탐침열현미경의 계측정확도와 오차의 원인분석
제목
Analyzing measurement accuracy and causes of error in Vacuum Null Point Scanning Thermal Microscope by increasing the degree vacuum
제목 (타언어)
진공도가 올라감에 따라 진공 평형점 주사탐침열현미경의 계측정확도와 오차의 원인분석
저자
KWON, Oh Myoung
발행일
2019-05-23
학회명
열공학부문 2019년도 춘계학술대회
개최지
부산BEXCO
개최국가
대한민국
학회 개최일
2019-05-22 ~ 2019-05-24