ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화

ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
제목
ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
제목 (타언어)
ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2007-11-02
학회명
2007년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 13회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-11-02 ~ 2007-11-02