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ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
- 제목
- ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
- 제목 (타언어)
- ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2007-11-02
- 학회명
- 2007년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 13회 신소재 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-11-02 ~ 2007-11-02