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SiH2Cl2-H2-HCl 시스템에서의 실리콘 선택적 성장에 대한 표면 반응메커니즘 고찰

  • Pak, James Jungho
제목
SiH2Cl2-H2-HCl 시스템에서의 실리콘 선택적 성장에 대한 표면 반응메커니즘 고찰
저자
Pak, James Jungho
학회명
하계학술대회논문집
개최지
하계학술대회논문집
학회 개최일
1998-07-21

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