ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

플라즈마이온주입법 (Plasma Immersion Ion Implantation)을 이용한 Shallow Junction 형성

  • Donghwan KIM
제목
플라즈마이온주입법 (Plasma Immersion Ion Implantation)을 이용한 Shallow Junction 형성
저자
Donghwan KIM
발행일
2012-02-29
학회명
태양전지 연구회 워크숍
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-02-28 ~ 2012-02-29

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.