마이크로 소자의 진공도에 따른 퀄리티 팩터 측정 연구

제목
마이크로 소자의 진공도에 따른 퀄리티 팩터 측정 연구
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
한국센서학회 종합학술대회
학회 개최일
2006-11-10 ~ 2006-11-11