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NP SThM을 이용한 SOI 기판위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
NP SThM을 이용한 SOI 기판위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
- 제목
- NP SThM을 이용한 SOI 기판위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
- 제목 (타언어)
- NP SThM을 이용한 SOI 기판위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
- 저자
- KWON, Oh Myoung
- 발행일
- 2014-05-22
- 학회명
- 2014년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-05-22 ~ 2014-05-23