반도체 공정의 효율적인 제어를 위한 Adaptive-MPC 알고리즘

  • KIM SUNG SHICK
제목
반도체 공정의 효율적인 제어를 위한 Adaptive-MPC 알고리즘
저자
KIM SUNG SHICK
학회명
2009 한국경영과학회/대한산업공학회 춘계공동학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-22 ~ 2009-05-23