상세 보기
Fabrication of 100nm sized patterns on non-planar substrate using nanoimprinting lithography
- 제목
- Fabrication of 100nm sized patterns on non-planar substrate using nanoimprinting lithography
- 저자
- Lee, Heon
- 학회명
- 2006 China NANO
- 개최지
- Beijing
- 학회 개최일
- 2005-06-09 ~ 2005-06-11