금속촉매와 기상화학증착법을 이용한 SiCN 나노와이어의 성장

제목
금속촉매와 기상화학증착법을 이용한 SiCN 나노와이어의 성장
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
한국재료학회
학회 개최일
2002-01-01 ~ 2002-01-02