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CVD법으로 제작한 (1-x)Ta2O5-xTiO2박막의 열처리 온도에 따른 특성변화

제목
CVD법으로 제작한 (1-x)Ta2O5-xTiO2박막의 열처리 온도에 따른 특성변화
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2003년도 한국재료학회 추계 학술발표대회 및 논문개요집
학회 개최일
2003-09-01 ~ 2003-09-02

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