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FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process)공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어기법에 관한 연구

  • KIM SUNG SHICK
제목
FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process)공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어기법에 관한 연구
저자
KIM SUNG SHICK
학회명
2009 한국경영과학회/대한산업공학회 춘계공동학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-22 ~ 2009-05-23

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