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반도체 표면 물성 측정을 위한 다이아몬드 열전탐침의 설계 및 제작

제목
반도체 표면 물성 측정을 위한 다이아몬드 열전탐침의 설계 및 제작
저자
KWON, Oh Myoung
발행일
2009-05-29
학회명
2009년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회
개최지
서울대학교
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-28 ~ 2009-05-29

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