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ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
- 제목
- ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
- 제목 (타언어)
- ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2017-11-16
- 학회명
- 2017년도 한국재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-11-15 ~ 2017-11-17