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Cavity를 갖는 SDB SOI 구조의 제작

제목
Cavity를 갖는 SDB SOI 구조의 제작
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전기전자재료학회 하계학술대회
학회 개최일
2000-07-13 ~ 2000-07-15

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