ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

첨가제에 따른 CeO2 Slurry의 CMP 특성

  • Lim, Dae-Soon
제목
첨가제에 따른 CeO2 Slurry의 CMP 특성
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국세라믹학회 춘계학술대회지
개최지
한국세라믹학회 춘계학술대회지
학회 개최일
2002-04-19

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.