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단일 전구체를 사용한 SiC 박막의 성장

제목
단일 전구체를 사용한 SiC 박막의 성장
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2002년도 한국재료학회 추계 학술발표강연
개최지
배재대학교
학회 개최일
2002-11-01 ~ 2002-11-02

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