ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

Ar ion milling과 photo-lithography를 이용한 계단형 모서리 제어와 특성분석

  • LEE, Soon Gul
제목
Ar ion milling과 photo-lithography를 이용한 계단형 모서리 제어와 특성분석
저자
LEE, Soon Gul
학회명
한국물리학회 제76회 정기총회 논문초록집
개최지
한국물리학회 제76회 정기총회 논문초록집
학회 개최일
2000-04-28

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.