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나노임프린트리소그래피를 통한 Sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구

제목
나노임프린트리소그래피를 통한 Sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구
저자
Lee, Heon
학회명
2006년도 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최지
경상대학교
학회 개최일
2006-05-19 ~ 2006-05-20

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