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RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 Zn-In-Sn계 투명 전도 산화막 제작

  • CHOI, In-Hoon
제목
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 Zn-In-Sn계 투명 전도 산화막 제작
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2004-10-01
학회명
ZnO 연구회

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