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Sub-10nm Nanopattern Fabricated by Atomic Layer Deposition Using a Caborn Nanotube Template
- 제목
- Sub-10nm Nanopattern Fabricated by Atomic Layer Deposition Using a Caborn Nanotube Template
- 저자
- Han, Chang-Soo
- 학회명
- 제2회 나노 임프린트/몰딩/프린트 학술대회(nano-IMP2013)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2013-02-14 ~ 2013-02-15