Sub-10nm Nanopattern Fabricated by Atomic Layer Deposition Using a Caborn Nanotube Template

제목
Sub-10nm Nanopattern Fabricated by Atomic Layer Deposition Using a Caborn Nanotube Template
저자
Han, Chang-Soo
학회명
제2회 나노 임프린트/몰딩/프린트 학술대회(nano-IMP2013)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2013-02-14 ~ 2013-02-15