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International Journal of Mass Spectrometry
ISSN
P 1387-3806 E 1873-2798
출판사
Elsevier BV
국가
NETHERLANDS
발행 상태
활성
데이터베이스 수록 정보
CiteScore 2011-2025 (15년)
JCR 1998-2025 (28년)
SCI 2010-2019 (10년)
SCIE 2010-2026 (17년)
Scopus 1998-2026 (29년)
SJR 1999-2020, 2022-2025 (26년)
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2020
Article
Etching characteristics of thin SiON films using a liquefied perfluorocarbon precursor of C6F12O with a low global warming potential
- Lee, Junmyung ;
- Nam, Yunho ;
- Lee, Jongchan ;
- Lee, Hyun Woo ;
- Kwon, Kwang-Ho
- 2020-10
- Plasma Science and Technology
- IOP PUBLISHING LTD