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Social Science Journal
ISSN
P 0362-3319 E 1873-5355
출판사
Elsevier BV
국가
NETHERLANDS
발행 상태
활성
데이터베이스 수록 정보
CiteScore 2011-2025 (15년)
JCR 1997-2025 (29년)
Scopus 1978, 1980, 1982-2026 (47년)
SJR 1999-2020, 2022-2025 (26년)
SSCI 2010-2026 (17년)
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2020
Article
Low-temperature smoothing method of scalloped DRIE trench by post-dry etching process based on SF6 plasma
- Park, J.S. ;
- Kang, D.-H. ;
- Kwak, S.M. ;
- Kim, T.S. ;
- Park, J.H. ;
- ... Kim, T.G. ;
- 외 2명
- 2020
- Micro and Nano Systems Letters
- Society of Micro and Nano Systems