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KCI
질소 분극면을 갖는 N형 질화물반도체의 접촉저항 감소를 위한 산소 플라즈마 효과에 관한 연구
남태양;
김태근
; 최연식; 김동호; 이완호; 김수진; 이병규; 조영창
Article
Issue Date
2010
Citation
Applied Science and Convergence Technology, v.19, no.1, pp.10 - 13
Publisher
한국진공학회
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