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KCI
MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지수확소자의 제작 및 특성 연구
이준명; 천인우; 김문근;
권광호
; 이현우
Article
Issue Date
2013
Citation
전기전자재료학회논문지, v.26, no.11, pp.831 - 835
Publisher
한국전기전자재료학회
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