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40
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50
전체 결과 2 건 중 1 - 2을(를) 표시 중입니다.
KCI
HBr/Ar/CHF3 혼합가스를 이용한 ZnO 박막의 유도결합 플라즈마 식각
김문근; 함용현;
권광호
; 이현우
Article
Issue Date
2010
Citation
전기전자재료학회논문지, v.23, no.12, pp.915 - 918
Publisher
한국전기전자재료학회
KCI
플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구
함용현; 이현우;
권광호
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.2, pp.89 - 94
Publisher
한국전기전자재료학회
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