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SCIE
SCOPUS
Composition-Dependent Structural and Electrical Properties of ZrxTiyO2 Films Grown on RuO2 Substrate by ALD
Kwon, Hyuk; Park, Hyun-Hee; Kim, Byong-Ho;
Ha, Jeong Sook
Article
Issue Date
2009
Citation
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, v.156, no.2, pp.G13 - G16
Publisher
ELECTROCHEMICAL SOC INC
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