65-nm CMOS 300 GHz 영상 검출기 및 영상 획득

Abstract

본 논문에서는 65-nm CMOS 공정을 이용하여 300 GHz 주파수 대역의 영상 검출기를 제작하고, 이에 기반하여 영상을 획득하였다. 검출기 회로 구조는 square-law 동작에 기초를 두고 있다. 제작된 검출기는 285 GHz에서 2,270 V/W의 최대 반응도(responsivity)와 38 pW/Hz1/2의 최소 NEP(Noise Equivalent Power)를 보였으며, 250～305 GHz의 범위에서 NEP<～200 pW/Hz1/2를 보였다. 측정용 패드와 밸룬(Balun)을 포함한 제작된 칩의 크기는 400 μm×450 μm이며, 측정용 요소들을 제외한 주요 칩의 크기는 150 μm×100 μm이다.