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마이크로미터 크기의 유기 전계 효과 트랜지스터 제작Fabrication of Micron-sized Organic Field Effect Transistors
- Other Titles
- Fabrication of Micron-sized Organic Field Effect Transistors
- Issue Date
- 2011
- Publisher
- 한국진공학회
- Keywords
- 펜타신; 유기전계효과트랜지스터; 리소그래피; 원자층 증착 방법; 산화 알루미늄막; Pentacene; OFET; Lithography; Atomic layer deposition technique; Al_2O_3 passivation layer
- Citation
- Applied Science and Convergence Technology, v.20, no.1, pp.63 - 69
- Indexed
- KCI
- Journal Title
- Applied Science and Convergence Technology
- Volume
- 20
- Number
- 1
- Start Page
- 63
- End Page
- 69
- ISSN
- 1225-8822
- Abstract
- 본 연구에서는 기존 실리콘 반도체 기술 기반의 포토 및 이빔 리소그래피 공정을 통하여 유기 반도체 소자를 패터닝하였다. P3HT나 PEDOT 등의 유기 반도체는 용매에 녹기 때문에 MIMIC (micro-molding in capillaries)이나 inkjet printing 기술을 이용하여 마이크로미터 크기의 소자 제작이 가능하였으나, 펜타신은 용매에 녹지 않기 때문에 매우 복잡한 방법으로 마이크로미터 크기의 소자를 제작하여왔다. 그러나, 본 연구에서는 원자층 증착 방법으로 증착한 산화 알루미늄막을 펜타신의 보호층으로 이용하여 기존의 포토 및 이빔 리소그래피 방법으로 마이크로미터크기의 펜타신 소자를 제작하였으며 그 전기 특성을 확인하였다.
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