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플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
- Alternative Title
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
- Authors
- Kang Yoon Mook
- Issue Date
- 21-8월-2018
- Publisher
- 사단법인 한국 LED 광전자학회
- Citation
- 제2회 한국 LED 광전자 학회
- Conference Name
- 제2회 한국 LED 광전자 학회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2018-08-21
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