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패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구
- Alternative Title
- 패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 18-5월-2018
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Conference Name
- 2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2018-05-16
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