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유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
- Alternative Title
- 유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 17-5월-2018
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Conference Name
- 2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2018-05-16
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