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B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Huh, Joo Youl | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-28T00:25:50Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-28T00:25:50Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2018-04-27 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/19456 | - |
| dc.publisher | 대한금속재료학회 | - |
| dc.title | B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동 | - |
| dc.title.alternative | B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Huh, Joo Youl | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회, | - |
| dc.relation.isPartOf | 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회, | - |
| dc.relation.isPartOf | 2018 대한금속재료학회 추계학술대회 초록집 | - |
| dc.citation.title | 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회, | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2018-04-25 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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