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B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
- Alternative Title
- B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
- Authors
- Huh, Joo Youl
- Issue Date
- 27-4월-2018
- Publisher
- 대한금속재료학회
- Citation
- 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회,
- Conference Name
- 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회,
- Place
- KO
- Conference Date
- 2018-04-25
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