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ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
- Alternative Title
- ALD모드로 Si(100)기판위에 성장한 ZnO의 성장 메커니즘
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 16-11월-2017
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2017년도 한국재료학회 추계학술대회
- Conference Name
- 2017년도 한국재료학회 추계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2017-11-15
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